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Camera Module，VCM，Lens，Sensor

产品系列

全部光学模组清洗废水处理设备

光学模组清洗机

适用于行业主流的12FOUP/FOSB Particles及金属离子清洗。设备配备多级精密过滤系统，有效保证洁净等级，满足制程需求Class10/100。多种喷淋清洗工艺，可实现360°清洗，保证制程的高精度清洗需求。配备真空干燥系统可提升效率，满足低湿度要求，湿度实时监控。(Option) 支持EAP/MES/AMHS主流通讯协议，SECS/GEM200/300支持OHT/PGV/AGV设备对接符合SEMIS2、CE半导体制造标准及认证。

FS系列废水处理机

适用于行业主流的12FOUP/FOSB Particles及金属离子清洗。设备配备多级精密过滤系统，有效保证洁净等级，满足制程需求Class10/100。多种喷淋清洗工艺，可实现360°清洗，保证制程的高精度清洗需求。配备真空干燥系统可提升效率，满足低湿度要求，湿度实时监控。(Option) 支持EAP/MES/AMHS主流通讯协议，SECS/GEM200/300支持OHT/PGV/AGV设备对接符合SEMIS2、CE半导体制造标准及认证。

光学模组清洗机

适用于行业主流的12FOUP/FOSB Particles及金属离子清洗。设备配备多级精密过滤系统，有效保证洁净等级，满足制程需求Class10/100。多种喷淋清洗工艺，可实现360°清洗，保证制程的高精度清洗需求。配备真空干燥系统可提升效率，满足低湿度要求，湿度实时监控。(Option) 支持EAP/MES/AMHS主流通讯协议，SECS/GEM200/300支持OHT/PGV/AGV设备对接符合SEMIS2、CE半导体制造标准及认证。

FS系列废水处理机

适用于行业主流的12FOUP/FOSB Particles及金属离子清洗。设备配备多级精密过滤系统，有效保证洁净等级，满足制程需求Class10/100。多种喷淋清洗工艺，可实现360°清洗，保证制程的高精度清洗需求。配备真空干燥系统可提升效率，满足低湿度要求，湿度实时监控。(Option) 支持EAP/MES/AMHS主流通讯协议，SECS/GEM200/300支持OHT/PGV/AGV设备对接符合SEMIS2、CE半导体制造标准及认证。