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    光学模组清洗机
    光学模组清洗机
    光学模组清洗机
    光学模组清洗机
    产品特点
    01
    密封式独立清洗腔体，清洗效果更好，洁净度更高。
    02
    集成一体式N2填充及FOUP内部温湿度检测系统，避免FOUP二次污染。
    03
    FOUP真空抽湿功能，干燥后满足最苛刻之湿度要求。
    04
    自动Load Port和主流E84传感器，对接OHT天车，稳定、高效。
    05
    Slot Mapping检测系统，能够实时检测未取出晶圆片和晶圆碎片（Option）。
    06
    各腔体可单独控制运行，互不干涉。
    应用范围
    技术参数
    设备尺寸
    4250mm(L)×4170mm(W)×2800mm(H)
    （含脚杯+排气口高度）仅供参考
    应用范围
    12”Wafer FOUP/FOSB；Panel FOUP；Mask FOUP
    夹具类型
    按客户产品定制（Max12寸 FOUP）
    负载
    500KG / 1000KG
    行走速度
    0~45m/min
    产品数量
    3pcs/批次（12寸 FOUP）
    主轴转速
    Max60rpm（自定义）
    主轴旋转方式
    正转/反转
    电源供应
    三相五线AC380V 50Hz 主机253A；外置加热箱115A
    噪音
    ＜75db
    总功率
    MAX约218KW
    设备净重
    约4000Kg
    主要材质
    机身：SUS304 管路：PFA
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