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    非标全自动FOUP清洗机
    该设备是在原有半自动FOUP清洗机基础上，通过增加2组清洗花篮，提高设备单次最大清洗数量。同时设备外接全自动上下料Load Port设备和Buffer缓存设备，实现全自动取/放晶圆载具和全自动开盒盖的同时，可最多缓存24ea的12寸Wafer FOUP。
    非标全自动FOUP清洗机
    产品特点
    01
    多达十段清洗工艺流程设定，制程窗口更宽
    02
    含有自动执行状态显示，快速检视设备运行状态及工作时间
    03
    扭力侦测转篮卡榫未定位保护，降低人为失误导致设备损坏
    04
    主轴由伺服系统控制，稳定加减速及转速，数值可控
    05
    操作程序PLC控制可按作业需求自由调整，方便快捷，人性化设计
    06
    旋转式离心清洗，正反旋转速度可调，更易清除产品表面残留污染物
    07
    IR烘烤加速干燥时间，无任何水份残留
    08
    采用一流体（二流体选项）的清洗模式，能有效去除微小的污染物
    应用范围
    技术参数
    设备尺寸
    2500mm(W)×3800mm(D)×2700mm(H)仅供参考
    旋转夹具
    按客户产品定制（Max 12寸FOUP/FOSB；8寸Open Cassette）
    产品数量
    12ea/批次（12寸FOUP/FOSB）； 18ea/批次（8寸Open Cassette）
    主轴转速
    Max.150RPM
    主轴旋转方式
    正转/反转 可调
    电源供应
    三相五线AC380V 50Hz 130A（不含外置液箱）
    总功率
    Max约49KW（不含外置液箱）
    设备净重
    3000Kg
    噪音
    ＜80dB
    主要材质
    机身：SUS304镜面不锈钢
    管路：PFA
    CDA/N2
    压力：＞0.7Mpa Φ12 PU管
    DIW
    流量：5~60LPM，压力：＞0.3Mpa
    排气口
    数量：2×Φ152mm，流量≈15m³/min，由客户提供抽风系统
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